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5 placa de cristal de cuarzo de los agujeros 127x127x3m m para la calibración del equipo de la oblea del semiconductor de 5 pulgadas
| Material | vidrio de cuarzo | Dimensiones | 127 mm x 127 mm x 3 mm |
|---|---|---|---|
| Número de agujeros | 5 | Tamaño de oblea compatible | 5 pulgadas |
| Llanura | precisión ultraalta | Tolerancia del agujero | Tolerancia apretada |
| Acabado superficial | Pulido de precisión de doble cara. | Solicitud | Calibración de obleas semiconductoras, sonda, AOI, troqueladora |
| Resaltar | Placa de vidrio de cuarzo de 127x127x3 mm,Placa de vidrio de cuarzo de 5 agujeros,Placa de calibración de oblea de 5 pulgadas |
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5 agujeros placa de cristal de cuarzo 127x127x3mm para calibración de obleas de 5 pulgadas
Esta placa de calibración de vidrio de cuarzo de 5 agujeros es una herramienta de calibración de equipos de semiconductores de alta precisión.Se ajusta a las especificaciones estándar de 5 pulgadas de obleas para la verificación y calibración diaria del equipo a través del probador, AOI, aplicaciones de ensamblaje y metrología óptica.
Parámetros del producto
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| El material | Vidrio de cuarzo |
| Las dimensiones | 127 mm x 127 mm x 3 mm |
| Número de agujeros | 5 |
| Tamaño de oblea compatible | 5 pulgadas |
| La superficie es plana | Precisión muy alta |
| Tolerancia de agujeros | Tolerancia limitada, aburrimiento de precisión |
| Finalización de la superficie | Polido con precisión de doble cara |
| Nivel de estrés | Bajo estrés |
| Resistencia química | Resistente a los disolventes para limpieza de semiconductores |
| Estabilidad dimensional | Precisión estable para reutilización a largo plazo |
Características clave
- 5 Agujeros de posicionamiento precisos- Cinco orificios de localización con tolerancia estrecha para la calibración de las coordenadas del equipo, que reemplazan la verificación diaria de las obleas de silicio.
- La superficie es muy plana¢ Superficie pulida de precisión de doble cara con una deformación térmica mínima para una precisión de calibración constante.
- Resistencia a la limpieza químicaResistente a los disolventes de limpieza de semiconductores estándar, manteniendo la estabilidad dimensional después de repetidos ciclos de limpieza.
- Uniformidad ópticaEl vidrio de cuarzo de baja tensión garantiza una transmisión óptica uniforme para los sistemas de inspección de AOI y de visión.
- Estabilidad a largo plazo- Precisión estable durante el uso repetido a largo plazo, diseñado como un estándar de calibración dedicado a la industria de semiconductores.
Aplicaciones
1Inspección de las obleas de semiconductores
Placa de calibración maestra para la verificación de la planitud y la dimensión de la oblea de 5 pulgadas.Placa de referencia de inspección óptica AOI para la calibración del enfoque de la lente y la precisión del reconocimiento.
2Proceso de envasado y sondeo
Placa de referencia de posicionamiento de la estación de sondeo para la verificación de la posición de la sonda y la comprobación de la planitud de la plataforma a través de la disposición de cinco agujeros.corrección de la desviación de posicionamiento del accesorio mecánico.
3Laboratorio de metrología óptica
Placa de calibración estándar para máquinas de medición visual y probadores de contornos, utilizada para la verificación de la exactitud de las mediciones de equipos regulares.
4Calibración automática de los accesorios de la línea de producción
Estándar de calibración de herramientas de equipos automatizados de semiconductores, diseñado para limpieza repetida sin deformación en entornos de producción.
Ventajas sobre el vidrio normal
A diferencia de las placas de vidrio normales, esta placa de calibración de vidrio de cuarzo presenta un pulido de precisión de doble lado con una deformación superficial extremadamente baja.La coaxialidad de cinco agujeros y el diámetro del agujero se controlan estrictamente dentro de las tolerancias estrictasResistente a los productos químicos de limpieza estándar para semiconductores, ofrece una precisión estable durante el uso repetido a largo plazo, lo que lo convierte en la pieza de calibración estándar de la industria para aplicaciones de semiconductores.

