Planitud ultra alta de la hoja estándar del vidrio de cuarzo de la dimensión para la oblea de 9 pulgadas

Hoja de vidrio de cuarzo de calibración de obleas de 9 pulgadas con ultraalta planitud

Esta lámina de cristal de cuarzo de calibración de 9 pulgadas es un estándar de calibración de equipos de semiconductores de alta precisión.Se ajusta a las especificaciones estándar de oblea de 9 pulgadas para la verificación diaria de equipos en litografía, sondas, inspección AOI y aplicaciones de metrología óptica.

Parámetros del producto

Características clave

• La superficie es muy plana- Superficie pulida de precisión con una tolerancia de planitud extremadamente estrecha, que garantiza resultados de calibración confiables para equipos de semiconductores.
• Propiedad óptica uniforme¢ Transmisión óptica constante a través de toda la superficie de la placa, ideal para la calibración del sistema de inspección AOI y basado en la visión.
• Bajo estrés interno- Deformación térmica mínima y deformación inducida por tensión, manteniendo la estabilidad dimensional en condiciones ambientales variables.
• Resistencia a la limpieza químicaResistente a los disolventes de limpieza de semiconductores estándar, conservando la calidad de la superficie después de repetidos ciclos de limpieza.
• Estabilidad a largo plazo Norma de calibración específica diseñada para un uso diario repetido sin degradación de la precisión con el tiempo.

Aplicaciones

1Inspección de las obleas de semiconductores

Placa de referencia principal para la inspección de la dimensión de la oblea de 9 pulgadas, la planitud y la curvatura. Sirve como estándar de calibración diaria para el equipo de inspección óptica AOI de la oblea,Unificación de la exactitud de detección en todas las líneas de producción.

2Litografía y proceso de embalaje

Alineación de referencia para las máquinas de litografía y las aglutinadoras. La calibración regular del enfoque de la lente del equipo y la precisión del posicionamiento de la plataforma reduce los defectos de producción y mejora la consistencia del rendimiento.

3Equipo de ensayo del probador

Placa de referencia para la calibración de las coordenadas de las estaciones de sondeo y la verificación de la planitud de la plataforma, que garantiza una precisión de ensayo eléctrica precisa de la oblea en la fabricación de semiconductores.

4Calibración óptica de laboratorio

Vidrio de calibración estándar para máquinas de medición de la visión y probadores de contornos, utilizado para la verificación de precisión de instrumentos de rutina en laboratorios de metrología.

Ventajas sobre el vidrio ordinario y la hoja de cuarzo común

A diferencia de las placas de vidrio ordinarias y las láminas de cuarzo comunes, esta lámina de vidrio de cuarzo de calibración cuenta con superficies pulidas de precisión con una tolerancia de planitud estrictamente controlada.Se trata de un producto que presenta una mínima deformación térmica y mantiene una precisión estable después de una limpieza química repetida., pieza de calibración estándar de la industria diseñada específicamente para entornos de producción de semiconductores.